테스, 반도체 장비 관련 국내특허 취득

[프라임경제] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 기판검사방법 및 기판처리장 관련 국내 특허권을 취득했다고 13일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허는 기판의 이송 중에 기판의 에지 등의 영역에 파손이 발생하는 경우에 이를 감지할 수 있다"며 "나아가 기판에 파손이 발생하지 않은 경우에도 기판이 틸트(tilt), 시프트(shift) 또는 틸트 및 시프트된 경우를 식별할 수 있다"고 밝혔다.