아이엠티, 美 마이크론에 'HBM 수율 필수' 세정 장비 3차 납품 임박…삼성·하이닉스도 '순항'

CO2 세정 장비, 기존 습식 대비 생산 수율 등 높아…전문가들, "향후 수요 증가 전망"

ⓒ 아이엠티

[프라임경제] 인공지능(AI)을 더욱 빠르고 정확하게 구현토록 해주는 핵심 반도체인 고대역폭메모리(HBM)가 업계의 화두다. 이러한 가운데 아이엠티(451220)의 장비가 수율향상의 일환으로 글로벌 기업들의 러브콜을 받고 있다. 

취재에 따르면, 아이엠티가 파트너사인 마이크론으로부터 업그레이드된 HBM 세정 장비의 3차 수주가 급물살을 타고 있으며, 해당 장비를 삼성전자(005930)와 SK하이닉스(000660)와도 물밑 접촉 중인 것으로 확인됐다

삼성전자, SK하이닉스, 마이크론 등 주요 메모리 기업들이 HBM에 사활을 걸고 있다. 해당 기업들은 최근 HBM을 통해 최근 실적이 급상승했으며, 향후 호실적 전망에 주가도 반등했다. 특히 5세대 고대역폭메모리(HBM3E) 수율 확보 경쟁에 사활을 걸고 있는 상황이다.

이러한 상황 속에 최근 마이크론 임원진의 한국 방문으로 아이엠티가 주목받고 있다. 아이엠티는 적층되는 상하면 사이에 존재하는 파티클(Particle·오염) 제거 기술이 뛰어나기 때문이다. 

홀을 뚫는 식각(etching), 코팅(passivation) 공정 과정에서 극미세 파티클이 지속적으로 발생하기에 반도체 수율을 위해 이를 제거하는 세정 공정은 매우 중요한 부분이다. 

이와 관련해 한 IB업계 관계자는 본지에 "아이엠티의 C3100M 모델이 2022년 1차적으로 마이크론에 납품된 후 지난해 퀄 테스트를 통과했으며, 올해 초 2차 물량이 본격 납품됐다"며 "해당 모델의 업그레이드 버전을 마이크론에 추가 납품하는 것과 관련해 현재 최종 조율 중인 상황으로 알고 있다"고 전해왔다.

이어 "업그레이드 된 C3100M 모델은 더욱 강력한 세정 효과를 위해 최근 파티클 크기가 점점 미세해지는 것을 추세를 반영한 것으로 알고 있다"며 "해당 모델 납품을 위해 마이크론 외에도 삼성전자, SK하이닉스 등 주요 메모리 기업들과의 접촉도 진행 중에 있다"고 덧붙였다. 

아이엠티는 이산화탄소(CO2) 및 레이저 건식 세정장비를 생산하는 기업으로, HBM 분야에 적용할 수 있는 3세대 CO2 세정 기술인 '마이크로젯(MicroJet)'을 개발한 바 있다. 

마이크론은 스핀 코터(Spin Coater) 장비에 당사의 마이크로젯 장비를 연결해 약 1년간 세정 테스트를 실시한 것으로 알려졌다. 이에 아이엠티는 지난해 C3100M 모델을 마이크론의 팹(FAB·생산시설) 규격에 맞도록 제작 완료해 설치했다.

최재성 아이엠티 대표는 지난해 열린 기업공개(IPO) 기자간담회 당시 "글로벌 기업과 HBM용 링 프레임 웨이퍼 클리너를 공동 개발을 했고, 상품화에 성공했다"며 "올해 7월 퀄을 받았고 내년부터 양산 장비 판매가 가능하다"며 해당 사실에 대해 간접적으로 밝히기도 했었다.

전문가들은 아이엠티의 향후 성장성에 대해 긍정적인 의견을 내놓고 있다. 

백길현 유안타증권 연구원은 리포트를 통해 "아이엠티의 CO2 세정 장비는 기존 습식 세정 방식 대비 생산 수율이 높고, 단위 공정 시간이 짧다는 점이 장점으로 부각되고 있다"며 "무엇보다 HBM 생산 시 보틀넥(Bottleneck·산업 발전 장애물)이 되고 있는 파티클 이슈를 완화시키는 것으로 파악된다"고 설명했다. 

아울러 "올해부터 내년까지 마이크론의 HBM 생산능력(CAPA) 확대 전략은 아이엠티의 건식 세정 장비(CO2 Cleaning) 수요 증가를 전망케 한다"고 조언하기도 했다. 

한편 아이엠티는 SK하이닉스와도 HBM용 번인(Burn-in) 테스트 소켓 클리너를 공동 개발 중이기도 하다.